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2025


高纯氢气发生器与气相外延生长技术的关系

时间:2023-09-11 16:20:18   访客:296

高纯氢气发生器可为产、进口气相色谱提供稳定的氢气气源,操作简单,只需启动电源开关即可产气,输出压力稳定,流量由LED数码显示,直观醒目。日常使用时只需补充蒸馏水,可连续使用也可间断使用。储液、电解制氢、排氧一体化,池温低,寿命长久。氢气作为一种绿色能源介质,可同时满足资源、环境和可持续发展的要求,是其他燃气所不能比拟的。氢气发生器用氢氧火焰切割,以替代传统连铸坯切割技术,另外在使用氢氧火焰对原设备进行简易改造,投入较少。

气相外延生长技术是在VPE基础上发展起来的,是以族元素的有机化合物和氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种-Ⅴ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

在气相外延生长技术中,氢气可以担当载气,将Ⅲ(Ⅱ)金属有机物和Ⅴ(Ⅵ)族氢化物以及掺杂源携带运输到反应室内,为化学沉积反应和薄膜生长提供基础,要求氢气纯度≥99.999%(≥5N),压力为4-7bar,而高纯氢气发生器所产氢气可以符合这一领域的用气需求。同时,氢气纯度稳定不变,减少了氢气纯度波动对设备的影响。

此外,设备操作便捷,保障氢气供应连续不间断,用户无需担心氢气用完,也无需和高压气体钢瓶接触,发生器自动运行,无需额外人工操作。发生器自动侦测自身工作状态和错误,一旦侦测异常即发生。


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